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真空區(qū)域劃分


真空區(qū)域劃分

為實(shí)用上便利起見,人們常把真空度粗劃為幾個(gè)區(qū)段,根據(jù)GB/T3163—93,真空區(qū)域大致劃分如下
低真空    105Pa~102Pa                          中真空    102Pa~10-1Pa
高真空   10-1Pa~10-5Pa                         超高真空  <10-5Pa
隨著真空技術(shù)的發(fā)展,在更低壓力下,氣體空間的物理特性有了新的特點(diǎn),真空獲得和真空測量有了新的手段,區(qū)域劃方法如下
低真空    105Pa~102Pa                           中真空    102Pa~10-1Pa
高真空    10-1Pa~10-5Pa                        超高真空 10-5Pa~10-9Pa
極高真空  <10-9Pa
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