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真空泵術(shù)語解釋


真空泵術(shù)語解釋

真空的定義
真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)
真空度
處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。
真空度單位
通常用托(Torr)為單位,國際上取用帕(Pa)作為單位。
1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱
托與帕的轉(zhuǎn)換
1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托
平均自由程
作無規(guī)則熱運動的氣體粒子,相繼兩次碰撞所飛越的平均距離,用符號“λ”表示。
流量
單位時間流過任意截面的氣體量,符號用“Q”表示,單位為帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。
流導(dǎo)
表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒(L/s),在穩(wěn)定狀態(tài)下,管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強差。符號記作“U”。 U=Q/(P2- P1)
壓力或壓強
氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力,用“P”表示。
標(biāo)準(zhǔn)大氣壓
壓強為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓,符號:(Atm)。
極限真空
真空容器經(jīng)充分抽氣后,穩(wěn)定在某一真空度,此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時煉氣,再經(jīng)12小時抽真空,最后一個小時每隔10分鐘測量一次,取其10次的平均值為極限真空值。
抽氣速率
在一定的壓強和溫度下,單位時間內(nèi)由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,簡稱抽速。即Sp=Q/(P-P0)
冷阱(水冷擋板)
置于真空容器和泵之間,用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。
氣鎮(zhèn)閥
油封機械真空泵的壓縮室上開一小孔,并裝上調(diào)節(jié)閥,當(dāng)打開閥并調(diào)節(jié)入氣量,轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)到某一位置,空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比,從而使大部分蒸汽不致凝結(jié)而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮(zhèn)閥。
真空冷凍干燥
真空冷凍干燥,也稱升華干燥。其原理是將材料冷凍,使其含有的水份變成冰塊,然后在真空下使冰升華而達(dá)到干燥目的。
真空蒸鍍
在真空環(huán)境中,將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍,或叫真空鍍膜。
真空干燥
利用真空環(huán)境下沸點低的特點來干燥物品的方法。
真空系統(tǒng)常用名稱
①主泵:在真空系統(tǒng)中,用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。
②前級泵:用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。
③粗抽泵:從大氣壓下開始抽氣,并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵,就是粗油泵。
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